
Vakuum-Prozesse
Für Tests und Analysen, sowie Machbarkeits-Studien und Kleinserien können hier Vakuum-Prozesse in unterschiedlich grossen Kammern und Aufbauten in Druckbereichen bis hinunter zu 10 – 9 mbar projektiert und durchgeführt werden.
Diese Prozesse unter Vakuum können mit unterschiedlichsten physikalischen und/oder chemischen Prozeduren wie bedampfen, plasma-ätzen, reinigen, reaktiv mischen und vielen mehr kombiniert werden.