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Vakuum-Prozesse

Vakuum-​Prozesse

Für Tests und Analy­sen, sowie Machbarkeits-​Studien und Klein­se­rien kön­nen hier Vakuum-​Prozesse in unter­schiedlich grossen Kam­mern und Auf­bauten in Druck­bere­ichen bis hin­unter zu 10 – 9 mbar pro­jek­tiert und durchge­führt werden.

Diese Prozesse unter Vakuum kön­nen mit unter­schiedlich­sten physikalis­chen und/​oder chemis­chen Proze­duren wie bedampfen, plasma-​ätzen, reini­gen, reak­tiv mis­chen und vie­len mehr kom­biniert werden.

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